1、利用臭氧特性进行清除：在“除臭”过程中利用臭氧自身的若干特性，也可以达到事半功倍的效果。由于臭氧分子本身不是很稳定，而且温度越高分解越快。在没有新生成的情况下，即便是常温环境，大部分臭氧分子也只需30分钟就能还原成氧气。
2、光解清除：虽然臭氧自身仅有很少部分能溶解在降水中，但它的前体物，比如一些含氧有机物、化合物等却可以被降水清除。加上降水天气往往多云，近地面的太阳辐射降低，臭氧生成速率也会随之降低，这也是降水清除臭氧的间接渠道。
3、植被对臭氧既有清除作用：植树可以增加地面的表面阻抗系数，加速臭氧向地面沉降，降低近地面臭氧的浓度；但是如杨树、柳树等树种会释放出挥发性有机物，这些是臭氧生成的前体物，会参与并促进臭氧的生成。
4、与大气成分反应清除：作为强氧化剂，臭氧还可以与许多大气成分反应。举个例子来说，臭氧能和机动车排放的一氧化氮快速发生反应，所以在城市傍晚机动车最多的时候，臭氧浓度下降最快。
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